一、原理：
三次元量測儀可定義為：一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器。其
工作原理：是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生moire條紋明暗訊號(hào)之原理，由光電管接收其信號(hào)，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號(hào)情形。
二、操作方法：
1、量測前準(zhǔn)備：
a、檢查空氣軸承壓力是否足夠
b、安裝工件
2、測頭選擇及安裝：
a、將適當(dāng)之測頭裝于z軸承接器
b、檢視z軸是否會(huì)自動(dòng)滑落（否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥）
c、鎖定各軸之適當(dāng)位置
3、量測操作：
a、開啟處理機(jī)電源
b、啟開打印機(jī)開關(guān)
c、參考操作手冊，選擇所需功能之指令
d、進(jìn)行量測，并讀出量測值
4、完成后注意事項(xiàng)：
a、z軸移至原來位置后，鎖定
b、x,y軸各移至中央，鎖定
c、關(guān)電源及壓力閥
d、取下測頭
e、并作適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)