使用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)通過(guò)對(duì)一個(gè)原件使用進(jìn)行不同的測(cè)量速度以確定的測(cè)量速度（也稱(chēng)為逼近速度）。在此，我們會(huì)發(fā)現(xiàn)必須在慢的測(cè)量速度（這會(huì)導(dǎo)致不合理的長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)完成使用者所需要的測(cè)量）和快速測(cè)量（會(huì)導(dǎo)致接觸表面有較大的沖擊力）之間做出妥協(xié)。
通過(guò)觀察可以發(fā)現(xiàn)，速度緩慢的測(cè)量雖然誤差大但誤差穩(wěn)定，這是由低速時(shí)觸發(fā)測(cè)頭所需的大量時(shí)間導(dǎo)致的。
使用快速測(cè)量時(shí)，測(cè)頭在更短的時(shí)間內(nèi)觸發(fā)以及探針的偏轉(zhuǎn)顯著降低。然而，隨著快速測(cè)量，探針接觸時(shí)的力也會(huì)更大，這些都會(huì)對(duì)被測(cè)原件產(chǎn)生較大的影響同時(shí)還會(huì)引起震動(dòng)以及慣性影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，以111毫米每秒的快速測(cè)量以及以83毫米每秒的中等進(jìn)給速度對(duì)于某些儀器在測(cè)試中會(huì)有最小的測(cè)量誤差。因此建議使用者在自己的測(cè)量設(shè)置中進(jìn)行測(cè)試以確定最佳的測(cè)量速度。