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KRI 考夫曼聚焦射頻離子源 RFICP380 輔助制備原子探針樣品

發(fā)布時(shí)間:2024-05-07
上海某大學(xué)研究中心采用伯東kri考夫曼射頻離子源fricp380輔助制備三維原子探針樣品,主要是對(duì)三維原子探針樣品進(jìn)行蝕刻,使樣品變薄
伯東kri射頻離子源rficp380技術(shù)參數(shù):
射頻離子源型號(hào)
rficp380
discharge陽極
射頻rficp
離子束流
>1500 ma
離子動(dòng)能
100-1200 v
柵極直徑
30 cm φ
離子束
聚焦,平行,散射
流量
15-50 sccm
通氣
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型壓力
< 0.5m torr
長(zhǎng)度
39 cm
直徑
59 cm
中和器
lfn 2000
運(yùn)行結(jié)果:
1. 采用kri考夫曼射頻離子源fricp380可以克服鋯合金脆斷的問題
2. 制備得到的樣品滿足了三維原子探針觀察樣品的要求
3. 可實(shí)現(xiàn)三維原子探針樣品的快速,便捷,高效制備
伯東是德國(guó)pfeiffer真空泵,檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空計(jì),美國(guó)kri考夫曼離子源,美國(guó)hva真空閥門,美國(guó)intest高低溫沖擊測(cè)試機(jī),美國(guó)ambrell感應(yīng)加熱設(shè)備和日本ns離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.
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上海伯東:羅女士
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