該法利用臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外線特征吸收的特性，依據(jù)朗伯一比爾定律測(cè)量紫外線通過臭氧的光強(qiáng)變化來檢測(cè)臭氧濃度。該法不但適用于檢測(cè)氣體中臭氧濃度，也可以檢測(cè)水中溶存的臭氧濃度，已被我國作為環(huán)境空氣中測(cè)定臭氧的標(biāo)準(zhǔn)方法。
電化學(xué)法主要是被測(cè)臭氧氣體以擴(kuò)散方式和儀器接觸，并發(fā)生反應(yīng)，輸出穩(wěn)定的電信號(hào)。氣體濃度值可以穩(wěn)定地用數(shù)據(jù)顯示在顯示屏上。紫外吸收法的原理為臭氧對(duì)波長(zhǎng) λ=254nm紫外光具有zui大吸收稀疏，在此波長(zhǎng)下紫外光通過臭氧層會(huì)產(chǎn)生衰減，符合蘭波特-比爾定律。目前，紫外吸收法已被美國等國家作為臭氧分析的標(biāo)準(zhǔn)方法。其采用紫外線吸收法具有檢測(cè)精度高、穩(wěn)定性好，其他氧化劑干擾小等優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn)是價(jià)格較高。
光譜分析法是指在光的作用下，通過測(cè)量物質(zhì)產(chǎn)生的發(fā)射光、吸收光或散射光的波長(zhǎng)和強(qiáng)度來進(jìn)行分析的方法。在光譜分析中，依據(jù)物質(zhì)對(duì)光的選擇性吸收而建立起來的分析方法稱為吸光光度法。
科學(xué)家們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對(duì)波長(zhǎng)253.7nm的紫外線具有zui大吸收系數(shù)，在此波長(zhǎng)下紫外線通過臭氧會(huì)產(chǎn)生衰減，符合蘭波特一比爾定律:該原理已被美國等國家作為臭氧標(biāo)準(zhǔn)分析方法:該臭氧檢測(cè)儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩(wěn)定的紫外燈光源產(chǎn)生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長(zhǎng)紫外光，只允許波長(zhǎng)253.7nm通過。經(jīng)過樣品光電傳感器，再經(jīng)過臭氧吸收池后，到達(dá)采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號(hào)比較，再經(jīng)過數(shù)學(xué)模型的計(jì)算，就能得出臭氧濃度大小。