日本ulvac cfb-1200復(fù)合分子泵一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時(shí)具有渦輪分子泵分子流時(shí)抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
日本ulvac cfb-1200復(fù)合分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)
復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)；由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1200復(fù)合分子泵三、主要性能指標(biāo)
型號(hào)
cfb-1200
訂貨號(hào)
3153
3154
進(jìn)氣口法蘭
—
lf200
cf200
排氣口法蘭
—
kf40
抽氣速率
l/s
1200
壓縮比n2/h2
—
1×109/1×104
極限壓強(qiáng)
pa
5×10-7
8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動(dòng)時(shí)間
min
＜5
振動(dòng)值
μm
≤0.1
前極泵
l/s
8-15
冷卻水溫度
℃
≤20
泵體烘烤溫度
℃
<120
冷卻水流量
l/min
1
加熱器功率
w
<600
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
～34
四、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格
cfb-1200
進(jìn)氣口法蘭
lf200
cf200
d1
ф240
ф253
d2
ф267
ф267
d3
□167.6
□167.6
l1
142
142
l2
152
152
h1
393
393
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
泵腿螺釘孔
4-m8
4-m8
關(guān)鍵詞：真空泵 加熱器