等離子發(fā)生器等離子體概述：
等離子體是物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。通常情況下物質(zhì)有三種狀態(tài):氣態(tài)、液 態(tài)、固態(tài)。在一定溫度和壓力下三態(tài)可以互相轉(zhuǎn)化。但在一定條件下， 如加熱、 放電等，氣體分子會(huì)發(fā)生解離、電離等過(guò)程，當(dāng)產(chǎn)生的帶電粒子密度達(dá)到一定數(shù) 值時(shí)，物質(zhì)狀態(tài)就會(huì)出現(xiàn)新的變化，這時(shí)的電離氣體已經(jīng)不再是原來(lái)的氣體了， 人們把這時(shí)的狀態(tài)稱(chēng)為等離子體態(tài)。
1.1.1 等離子發(fā)生器等離子體定義
什么是等離子發(fā)生器的等離子體?早期的定義為包含足夠多的正負(fù)電荷數(shù)目近于相等的帶電 粒子的物質(zhì)聚集狀態(tài)。當(dāng)然，在這個(gè)定義下也包含了固態(tài)等離子體和液態(tài)等離子體。晶格中正離子與自由電子組合或半導(dǎo)體中電子與空穴的組合等為固態(tài)等離子體。電解質(zhì)溶液中正負(fù)離子的組合為液態(tài)等離子體。1994年在“等離子體物理學(xué)發(fā)展戰(zhàn)略調(diào)研報(bào)告”中提出等離子體是由大量帶電粒子組成的非凝聚系統(tǒng)。報(bào)告強(qiáng)調(diào)了等離子體的非凝聚系統(tǒng)屬性，排除了單純的固態(tài) 和液態(tài)。因此，等離子體是指在宏觀上呈電中性的電離態(tài)氣體，是電子、離子、 自由基和各種活性基團(tuán)等粒子組成的集合體。其中正電荷總數(shù)和負(fù)電荷總數(shù)在數(shù)值上相等，故稱(chēng)為等離子體。此等離子體定義既強(qiáng)調(diào)了等離子體微觀上的電離屬性，又強(qiáng)調(diào)了等離子體宏觀上的電中性。
作為具有一定電離度的氣體等離子體和普通氣體的主要區(qū)別在于組成和性質(zhì)。組成上普通氣體是由電中性的分子或原子組成，而等離子體是由帶電粒子和中性粒子組成的集合體。性質(zhì)上等離子體是一種導(dǎo)電流體，但在宏觀尺度上維 持電中性，其帶電粒子間存在庫(kù)侖力，運(yùn)動(dòng)行為會(huì)受到磁場(chǎng)影響或支配。
1.1.2等離子發(fā)生器等離子體發(fā)生
日常生活環(huán)境中因不具備等離子體產(chǎn)生的條件而使人們對(duì)等離子感到陌生。事實(shí)上，在一些特定的環(huán)境下是能看到自然界的等離子體現(xiàn)象的，如閃電、 極光等。在宇宙中，99%以上的物質(zhì)均是以等離子體狀態(tài)存在的，如太陽(yáng)等恒星。 在實(shí)驗(yàn)條件下產(chǎn)生等離子體的方法很多，最重要和的方法就是氣體放電法。 近年來(lái)，隨著等離子體技術(shù)的成熟，大氣壓下氣體放電逐步發(fā)展起來(lái)，相比于低氣壓氣體放電，大氣壓氣體放電無(wú)需復(fù)雜的真空系統(tǒng)，使費(fèi)用大大降低。目前， 實(shí)驗(yàn)室中常用的大氣壓氣體放電有輝光放電（glow discharge)、介質(zhì)阻擋放電(dielectric barrier discharge）、電暈放電(corona discharge）、滑動(dòng)弧放電(gliding arc discharge）、火花放電（spark discharge）、射頻等離子體（radio-frequency plasma) 及微波等離子體（microwave plasma）。
1.1.3等離子體分類(lèi)
等離子發(fā)生器等離子體按照不同的標(biāo)準(zhǔn)可分成不同種類(lèi)。按存在方式分類(lèi)可分為天然等離子體與人工等離子體。宇宙中99%以上的物質(zhì)是以等離子體狀態(tài)存在的，稱(chēng)為天然等離子體。如恒星星系、星云，地球附近 的閃電、極光、電離層等。人工等離子體如日光燈、霓虹燈中的放電等離子體， 等離子體炬中的電弧放電等離子體，氣體激光器及各種氣體放電中的電離氣體。
按電離度分類(lèi)可分為電離等離子體(α=1)和強(qiáng)電離等離子體(1>α>0.01）以及弱電離等離子體（αti≈=tg，從而形成了熱力學(xué)上的非平衡性。具體分類(lèi)如下：
分類(lèi) 高溫等離子體 低溫等離子體
熱等離子體 冷等離子體
溫度范圍 10^6~10^8k 10^3~10^5k 10^2~10^5k
熱力學(xué)性質(zhì) 熱力學(xué)平衡 局部熱力學(xué)平衡 非熱力學(xué)平衡
應(yīng)用范圍 太陽(yáng)上等離子體 電弧等離子體 輝光放電
受控?zé)岷司圩?高頻等離子體 電暈放電