x熒光光譜儀（xrf）由激發(fā)源（x射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。x射線管產(chǎn)生入射x射線（一次x射線），激發(fā)被測(cè)樣品，產(chǎn)生x熒光（二次x射線），探測(cè)器對(duì)x熒光進(jìn)行檢測(cè)。
優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)
a) 分析速度快。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
b) x射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟x射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定 。
c) 非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d) x射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e) 分析精密度高。目前含量測(cè)定已經(jīng)達(dá)到ppm級(jí)別。
f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
缺點(diǎn)
a） 定量分析需要標(biāo)樣。
b）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。
分類
x熒光光譜儀有兩種基本類型：波長(zhǎng)色散型（wd-xrf）和能量色散型（ed-xrf）。
以x熒光的波粒二象性中波長(zhǎng)特征為原理的稱為波長(zhǎng)色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型。