利用特制的高能高臭氧uv紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應(yīng)生成低分子化合物，如co2、h2o等。
催化氧化反應(yīng)塔內(nèi)裝填特制的固態(tài)復(fù)合填料，填料內(nèi)部復(fù)合催化劑。當有機廢氣在引風機的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴化劑在固相填料表面充分接觸，并在催化劑的催化作用下，有機廢氣中的污染因子被充分分解。適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質(zhì)有很好的去除率。
化學(xué)利用惡臭物質(zhì)對光子的吸收而發(fā)生分解，同時反應(yīng)過程產(chǎn)生的羥基自由基、活性氧等強化性基團也能參與氧化反應(yīng)，從而達到降解惡臭物質(zhì)的目的。適用于濃度較低，且能吸收光子的污染物質(zhì)，可以處理大氣量的、低濃度的有機廢氣，操作極為簡單，占地面積小。對不能吸收光子的污染物質(zhì)效果差，對于成分復(fù)雜的廢氣無法達到預(yù)期處理效果。
光氧催化是光化學(xué)和催化氧化方法的一種升級，它把光化學(xué)和催化氧化結(jié)合起來，處理效果更佳。