深紫外固體激光器是一種利用固體材料產(chǎn)生深紫外激光的裝置，其工作方式可以簡要描述如下：
激發(fā)源：在深紫外固體激光器中，通常采用高能量脈沖激光或者電子束來激發(fā)固體材料。這些高能量的輸入會導(dǎo)致固體材料中電子躍遷到較高的能級。
光放大：當(dāng)電子躍遷到較高能級時，它們會處于一個不穩(wěn)定的狀態(tài)，并且很快回到基態(tài)。在回到基態(tài)的過程中，它們釋放出能量并產(chǎn)生一系列的光子。這些光子具有特定波長和頻率，在深紫外范圍內(nèi)。
共振腔：為了增強這些產(chǎn)生的深紫外光子，通常需要將該固體材料置于一個共振腔（resonantcavity）之中。共振腔由兩個鏡面構(gòu)成，其中一個鏡面透明而另一個則是部分反射的。這樣設(shè)計使得從實際上所有方向傳播進(jìn)入共振腔內(nèi)部并與被反射、干涉等所引起來回波動的光子，只有那些與固體材料發(fā)生共振的特定頻率和波長才能夠得到放大。
輸出：共振腔中的光子在不斷來回反射，逐漸增加其數(shù)量。當(dāng)達(dá)到一定程度時，其中一部分光子會通過半透明鏡面輸出作為激光束。這個激光束具有深紫外的波長和高能量。
綜上所述，深紫外固體激光器通過使用高能量輸入來激發(fā)固體材料中電子躍遷，并利用共振腔的設(shè)計使得產(chǎn)生的深紫外光子得到放大并最終輸出為激光束。這種工作方式使它成為許多應(yīng)用領(lǐng)域中重要且有價值的裝置，如微影技術(shù)、熒光檢測、化學(xué)分析等。