壓電加速度傳感器的敏感芯體一般由壓電材料和附加質(zhì)量塊組成,當(dāng)質(zhì)量塊受到加速度作用后便轉(zhuǎn)換成一個(gè)與加速度成正比并加載到壓電材料上的力,而壓電材料受力后在其表面產(chǎn)生一個(gè)與加速度成正比的電荷信號(hào)。壓電材料的特性決定了作用力可以是受正應(yīng)力也可以是剪應(yīng)力,壓電材料產(chǎn)生的電荷大小隨作用力的方向以及電荷引出表面的位置而變。根據(jù)壓電材料不同的受力方法,壓電加速度傳感器常用敏感芯體的結(jié)構(gòu)一般有以下三種形式:
1、彎曲變形梁形式:壓電材料受到彎曲變形而產(chǎn)生電荷的結(jié)構(gòu)形式。彎曲變形梁結(jié)構(gòu)可產(chǎn)生比較大的電荷輸出信號(hào),也較容易實(shí)現(xiàn)控制阻尼;但因?yàn)槠錅y(cè)量頻率范圍低,更由于此結(jié)構(gòu)不能排除因溫度變化而極容易產(chǎn)生的信號(hào)漂移,所以此結(jié)構(gòu)在壓電型加速度傳感器的設(shè)計(jì)中很少被采用。
2、剪切形式:通過(guò)對(duì)壓電材料施加剪切力而產(chǎn)生電荷的結(jié)構(gòu)形式。從理論上分析在剪切力作用下壓電材料產(chǎn)生的電荷信號(hào)受外界干擾的影響甚小,因此剪切結(jié)構(gòu)形式成為廣泛使用的加速度傳感器敏感芯體。然而在實(shí)際制造過(guò)程中,確保剪切敏感芯體的加速度計(jì)持有較高和穩(wěn)定的頻率測(cè)量范圍卻是傳感器制造中工藝中困難的一個(gè)環(huán)節(jié)。北智bw-sensor 采用進(jìn)口記憶金屬材料的緊固件從而保證傳感器具有穩(wěn)定可靠的諧振頻率和頻率測(cè)量范圍。
3、壓縮形式:壓電材料受到壓縮或拉伸力而產(chǎn)生電荷的結(jié)構(gòu)形式。壓縮式敏感芯體是加速度傳感器中傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)形式。其特點(diǎn)是制造簡(jiǎn)單方便,能產(chǎn)生較高的自振諧振頻率和較寬的頻率測(cè)量范圍。而的缺點(diǎn)是不能有效地排除各種干擾對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。
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