在線等離子清洗機(jī)等離子清洗在led封裝工藝中的應(yīng)用：
發(fā)光二極管 (led)一般用作指示燈、顯示板，它不但能夠高效率地直接將電能轉(zhuǎn)化為光能，而且擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)萬小時(shí)至數(shù)十萬小時(shí)的使用壽命，同時(shí)具備不易碎省電等優(yōu)點(diǎn)。
但在led制作過程中存在一些問題：
(1)led制作過程中的主要問題難以去除污染物和氧化層。
(2)支架與膠體結(jié)合不夠緊密有微小縫隙，時(shí)間存放久了之后空氣進(jìn)入至使電極及支架表面氧化造成死燈。
在led封裝工藝過程中，器件表面的氧化物及顆粒污染物會(huì)降低產(chǎn)品可靠性，影響產(chǎn)品質(zhì)量。在封裝前運(yùn)用在線等離子清洗機(jī)進(jìn)行清洗處理，可有效去除上述污染物。點(diǎn)銀膠前使用在線等離子清洗機(jī)可以使工件表面粗糙度及親水性大大提高，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼同時(shí)，可大大節(jié)省銀膠的使用量降低成本。
引線鍵合前進(jìn)行在線等離子清洗機(jī)處理，可顯著提高其表面活性，提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。有些情況下，鍵合的溫度也可以降低，提高產(chǎn)量降低成本。在led注環(huán)氧樹脂膠過程中，污染物會(huì)導(dǎo)致氣泡的成泡率偏高。從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命低下，所以避免封膠過程中形成氣泡同樣是人們關(guān)注的問題。
led封膠前通過等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面處理，芯片與基板會(huì)更加緊密地和膠體相結(jié)合，氣泡的形成將大大減少，同時(shí)也將顯著提高散熱率及光的出射率。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用原理是通過化學(xué)或物理作用，對(duì)工件表面進(jìn)行處理實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除( 一般厚度為3~ 30 nm)，從而提高工件表面活性。被清除的污染物可能有有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等，所以等離子清洗機(jī)處理工藝是一種高精密清洗。
就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：
(1)無機(jī)氣體被激發(fā)到等離子態(tài)；
(2)氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；
(3)被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；
(4)產(chǎn)物分子解析形成氣相；
(5)反應(yīng)殘余物脫離表面。
在線等離子清洗機(jī)處理方法是清洗方法中為的剝離式清洗，其優(yōu)勢(shì)在于清洗后無廢液，特點(diǎn)是對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等原基材料都能很好地處理，可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
隨著led產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，在線等離子清洗機(jī)憑借其經(jīng)濟(jì)有效且無環(huán)境污染的特性必將推動(dòng)led行業(yè)更加快速的發(fā)展。