半導(dǎo)體氣敏傳感器是利用半導(dǎo)體氣敏元件同氣體接觸后，造成半導(dǎo)體性質(zhì)的變化來(lái)檢測(cè)特定氣體的成分或者測(cè)量其濃度。
半導(dǎo)體氣敏傳感器大體上可以分為電阻式和非電阻式兩類。電阻式半導(dǎo)體氣敏倍感器是利用氣敏半導(dǎo)體材料，如氧化錫(sno2)、氧化錳(mno2)等金用氧化物制成敏感元件，當(dāng)它們吸收了可燃?xì)怏w的煙霧，如氫、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然氣等時(shí)，會(huì)發(fā)生還原反應(yīng)，放出熱量，使元件溫度相應(yīng)增高，電阻發(fā)生變化。利用半導(dǎo)體材料的這種待性，將氣體的成分和濃度變換成電信號(hào)，進(jìn)行監(jiān)測(cè)和報(bào)警。
圖4.42所示為典型氣敏元件的阻值—濃度關(guān)系?？梢钥闯觯?duì)不同氣體的敏感程度不同，如對(duì)乙酸、乙酵、氫氣等具有較高的靈敏度，而對(duì)甲烷的靈敏度較低。一般地，隨著氣體的濃度增加.元件阻值明顯增大，在一 定范圍內(nèi)，呈線性關(guān)系。