集成電路對(duì)純水水質(zhì)的要求

發(fā)布時(shí)間：2024-05-01

集成電路（dram）集成度
16k
64k
256k
1m
4m
16m
相鄰線距（μm）
4
2.2
1.8
1.2
0.8
0.5
微粒
直徑（μm）
0.4
0.2
0.2
0.1
0.08
0.05
個(gè)數(shù)（pcs/ml）
＜100
＜100
＜20
＜20
＜10
＜10
細(xì)菌（cfu/100ml）
＜100
＜50
＜10
＜5
＜1
＜0.5
電阻率（μs/cm，25℃）
＞16
＞17
＞17.5
＞18
＞18
＞18.2
toc(ppb)
＜1000
＜500
＜100
＜50
＜30
＜10
do(ppb)
＜500
＜200
＜100
＜80
＜50
＜10
na + (ppb)
＜1
＜1
＜0.8
＜0.5
＜0.1
＜0.1