horiba一鍵式全自動快速橢偏儀auto se概述
一鍵式全自動快速橢偏儀 auto se——新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
技術(shù)參數(shù)：
1. 光譜范圍：450-1000 nm
2. 多種微光斑自動選擇
3. 專立光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面
4. 自動樣品臺尺寸：200mmx200mm；xyz方向自動調(diào)節(jié); z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. ccd探測器
horiba一鍵式全自動快速橢偏儀auto se特點
★液晶調(diào)制技術(shù)，無機(jī)械轉(zhuǎn)動部件，重復(fù)性，信噪比高
★專立技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.
★反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試
★全自動集成度高，安裝維護(hù)簡便
★一鍵式操作軟件，快速簡單
★自動mapping掃描，分析樣品鍍膜均勻性