高溫?zé)o氧化烤箱又稱為無(wú)氧化烘烤箱或高溫烘箱，是一種在烘焙過程中有效減少甚至消除氧化的關(guān)鍵設(shè)備。具有節(jié)能、精確的溫度控制、有效的抗氧化保護(hù)和多功能性等特點(diǎn)。
厭氧烤箱是用來(lái)在半導(dǎo)體芯片制造前段制程中旋涂工藝(即涂布工藝)時(shí)，進(jìn)行無(wú)氧烘箱、潔凈無(wú)氧烘箱處理的設(shè)備。旋涂工藝需要先將原材料溶解在溶劑中，然后將晶圓表面向上固定在真空吸盤上，滴下固定量的材料，再在旋涂機(jī)上高速旋轉(zhuǎn)，從而在晶圓表面形成厚度均勻的薄膜。之后，使用厭氧烤箱在300~400℃條件下進(jìn)行熱處理，去除殘留的溶劑并使薄膜變得穩(wěn)定。
一、特點(diǎn)
高效節(jié)能：一般采用高效熱管技術(shù)和先進(jìn)的保溫材料，使得熱能得到利用，能源消耗低。
溫度控制精確：具備精準(zhǔn)的溫度控制系統(tǒng)，能夠?qū)囟染_控制在一定范圍內(nèi)，確保烘焙食品烘烤均勻。
減少氧化：傳統(tǒng)烤箱在烘焙過程中會(huì)使食品暴露在空氣中，導(dǎo)致氧化。而高溫?zé)o氧化烤箱通過特殊的密封設(shè)計(jì)和高效熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，有效減少甚至消除氧化。
多功能：具備多種烘焙模式和功能，如上下獨(dú)立控溫、熱風(fēng)循環(huán)、發(fā)酵等，可以滿足不同烘焙需求。
二、工作原理
高溫?zé)o氧化烤箱采用先進(jìn)的熱風(fēng)循環(huán)技術(shù)，通過將熱風(fēng)在密封的烘烤室中循環(huán)，使得食品均勻受熱，同時(shí)減少與氧氣的接觸。此外，一些烤箱還采用了氮?dú)饣蚨栊詺怏w置換技術(shù)，進(jìn)一步降低氧化速率。
三、應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于食品工業(yè)生產(chǎn)中，如面包、餅干、糕點(diǎn)等各類烘焙食品的烘焙。同時(shí)，由于其精準(zhǔn)的溫度控制和多功能性，也受到家庭烘焙愛好者的歡迎，成為制作糕點(diǎn)、面包等食品的重要工具。
關(guān)鍵詞：高溫烘箱 芯片