快速穩(wěn)定的控制
車載氣體轉(zhuǎn)換模型
嵌入了 22 種特的氣體
多參數(shù)輸出：質(zhì)量流量、溫度和壓力
usb-c 和藍(lán)牙通信
用于低氣體流量的質(zhì)量流量/壓力控制器flexi-flow 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測(cè)量和控制 0…500 mln/min 和 0…20 ln /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細(xì)管 mems 技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過驗(yàn)證的旁路結(jié)構(gòu)相結(jié)合。由于特的國(guó)際專，精確的質(zhì)量流量測(cè)量得以建立，幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結(jié)合集成溫度和上游和下游壓力傳感器，22 種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫(kù)可實(shí)現(xiàn)精確的機(jī)載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀器為用戶提供有用的過程信息。
flexi-flow 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器目前有 3 種型號(hào)可供選擇：
“高級(jí)預(yù)配置”(pa)，量程比 1:500，流量 + 溫度 + 上游和下游壓力，4 個(gè)流量范圍（fs，基于 n2）：ff-a500 型 - 500 mln/minff-a2k0 型 - 2 ln/minff-a5k0 型 - 5 ln/minff-a20k 型 - 20 ln/min
“預(yù)配置標(biāo)準(zhǔn)”(ps)，量程比 1:50，流量 + 溫度，4 個(gè)流量范圍（fs，基于 n2）：ff-s500 型 - 500 mln/minff-s2k0 型 - 2 ln/min型ff-s5k0 - 5 升/分鐘ff-s20k 型 - 20 升/分鐘
“按訂單制造”(bto)，調(diào)節(jié)比 1:1000；在 0.5 和 20 l n/min（fs，基于 n2）之間自由選擇范圍，ff-c10 型：流量 + 溫度f(wàn)f-c11 型：流量 + 溫度 + 上游和下游壓力；bto 模型也可用于配置多達(dá) 8 個(gè)通道的多通道版本。
測(cè)量/控制系統(tǒng)
流量范圍（可提供中間范圍）分鐘。最大0…500 mln/min0…20 ln/min（以 n2計(jì)）
壓力范圍pa：0...17 bar(a)ps：不可用bto：ff-c10：不可用 / ff-c11：0...17 bar(a)
精度（包括線性度）（基于實(shí)際校準(zhǔn)）pa：±0.8% rd + ±0.2% fs (n2/air/o2)；ps：±1.5% rd + ±0.5% fs (n2/air/o2);bto：高達(dá) ±0.5% rd 加上 ±0.1% fs (n2/air/o2)；對(duì)于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性；查看多氣體表；
重復(fù)性流量傳感器：< ±0.2% rd；壓力傳感器：< ±0,2% fs
調(diào)節(jié)比ps：1:50pa：1:500bto：高達(dá) 1:1000
最大限度。運(yùn)營(yíng)壓力16巴克
多氣體/多范圍以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù)
穩(wěn)定時(shí)間（受控，典型）<150 毫秒
長(zhǎng)期穩(wěn)定性< 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% fs 每年
控制穩(wěn)定性< ±0,1% fs（1 ln/min n2 的典型值）
工作溫度0 … 50攝氏度
儲(chǔ)存/運(yùn)輸條件-20 … +80 °c，最大值95% rh（非冷凝）
安裝任意位置，姿態(tài)敏感度可忽略不計(jì)
關(guān)鍵詞：控制器 傳感器 壓力控制器 壓力傳感器 流量傳感器