質(zhì)譜儀又被稱為質(zhì)譜計(jì)，通?？捎糜诜蛛x和檢測(cè)不同同位素。它根據(jù)帶電粒子在電磁場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子及其碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成的儀器。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機(jī)與有機(jī)質(zhì)譜儀。
質(zhì)譜儀用高能電子流轟擊樣品分子，使分子失去電子變?yōu)閹д姾傻姆肿与x子和碎片離子。這些不同離子具有不同的質(zhì)量，質(zhì)量不同的離子在磁場(chǎng)的作用下到達(dá)檢測(cè)器的時(shí)間不同，可根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)顯示為質(zhì)譜圖。
質(zhì)譜儀分類及應(yīng)用：
1、有機(jī)質(zhì)譜儀：有機(jī)質(zhì)譜儀主要用于有機(jī)化合物的結(jié)構(gòu)鑒定，它能提供化合物的分子量、元素組成以及官能團(tuán)等結(jié)構(gòu)信息。可分為四極桿質(zhì)譜儀、離子阱質(zhì)譜儀、飛行時(shí)間質(zhì)譜儀和磁質(zhì)譜儀等。
2、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀：無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀是以電感耦合高頻放電或其他的方式使被測(cè)物質(zhì)離子化。主要用于無(wú)機(jī)元素微量分析和同位素分析等方面。分為離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。適用于元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進(jìn)行固體分析，靈敏度與測(cè)量精度很高。
3、同位素質(zhì)譜分析法：同位素質(zhì)譜分析法測(cè)試速度快、結(jié)果、樣品用量少、能夠測(cè)定元素的同位素比值。
4、離子探針：離子探針是用聚焦的離子束作為微探針轟擊樣品表面，測(cè)射出原子及分子的二次離子，在磁場(chǎng)中按質(zhì)荷比分開，可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像，再通過(guò)分析計(jì)算求得元素的定性和定量信息。成像離子探針適用于許多不同類型的樣品分析，包括金屬樣品、半導(dǎo)體器件及非導(dǎo)體樣品等。
由于質(zhì)譜分析具有靈敏度高、樣品用量少、分析速度快、分離和鑒定同時(shí)進(jìn)行等優(yōu)點(diǎn)，因此質(zhì)譜技術(shù)可應(yīng)用于化學(xué)化工、環(huán)境能源、醫(yī)藥、生命及材料科學(xué)等領(lǐng)域。