等離子清洗機(jī)不需要使用大量的酸、堿、有機(jī)溶劑等,不會給環(huán)境帶來任何污染,有利于環(huán)保和人員安全,同時該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好,具有三維處理能力,可以進(jìn)行方向選擇。等離子清洗機(jī)是沒有正負(fù)電極,自偏壓很小,不會產(chǎn)生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產(chǎn)效率高;離子運(yùn)動沖擊小,不會產(chǎn)生uv(紫外線)輻射,尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。
等離子清洗機(jī)作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。在集成電路的制程中,會產(chǎn)生許多種類的污染物,包括氟化樹脂、氧化物、環(huán)氧樹脂、焊料、光刻蝕劑等,這些污染物將嚴(yán)重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗機(jī)作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術(shù)被廣泛應(yīng)用于集成電路的制程中。
等離子體清洗機(jī)可以不分處理對象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都可以使用等離子體清洗機(jī)來處理。因此特別等離子清洗機(jī)適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗;
關(guān)鍵詞:等離子清洗機(jī)