氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體的真空檢漏儀器。因?yàn)樾阅芎?、靈敏度高，因此它在真空以及其他相關(guān)行業(yè)中使用廣泛。這也是干式螺桿真空泵廠家介紹的后一種常用真空檢漏儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號，而對其他氣體沒有反應(yīng)，屬于性檢漏儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對分析設(shè)備制造的要求相對簡單；同時(shí)氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，具體的結(jié)構(gòu)原理，珂勒曦小編就不在此班門弄斧了。而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦質(zhì)譜檢漏儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空檢漏儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的核心功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證檢漏儀真空度等工作。
氦質(zhì)譜檢漏儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如常用的噴吹法，與鹵素檢漏儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好檢漏儀并與被檢件連通，隨后用噴槍在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時(shí)間后，檢漏儀即可發(fā)出信號。細(xì)節(jié)的操作方法、注意事項(xiàng)以及其他的儀器使用方法，氦質(zhì)譜檢漏儀品牌就不在這里介紹了。