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真空檢漏儀器之氦質(zhì)譜檢漏儀

發(fā)布時(shí)間:2024-04-23
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體的真空檢漏儀器。因?yàn)樾阅芎?、靈敏度高,因此它在真空以及其他相關(guān)行業(yè)中使用廣泛。這也是干式螺桿真空泵廠家介紹的后一種常用真空檢漏儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號,而對其他氣體沒有反應(yīng),屬于性檢漏儀器。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號,就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件,從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕,易于穿過漏孔,擴(kuò)散快,對分析設(shè)備制造的要求相對簡單;同時(shí)氦氣在空氣中含量少,本底壓力小,又為惰性氣體,不易發(fā)生反應(yīng)等等,都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,具體的結(jié)構(gòu)原理,珂勒曦小編就不在此班門弄斧了。而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦質(zhì)譜檢漏儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空檢漏儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的核心功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證檢漏儀真空度等工作。
氦質(zhì)譜檢漏儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如常用的噴吹法,與鹵素檢漏儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好檢漏儀并與被檢件連通,隨后用噴槍在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,檢漏儀即可發(fā)出信號。細(xì)節(jié)的操作方法、注意事項(xiàng)以及其他的儀器使用方法,氦質(zhì)譜檢漏儀品牌就不在這里介紹了。
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