在真空爐的日常運(yùn)用中，應(yīng)每周停止壓升率測(cè)試判別爐體能否發(fā)作走漏，并嚴(yán)厲按請(qǐng)求停止日常的頤養(yǎng)和維護(hù)，做好預(yù)防性維修。避免泄露就是要保證爐門和各管路、熱電偶等銜接部位密封件的有效工作，因而，要定期對(duì)密封件停止檢查清算。
主要包括預(yù)防擴(kuò)散泵，以及機(jī)械泵和羅茨泵返油的措施。除此之外，新采購設(shè)備時(shí)能夠思索干式真空泵替代油泵，分子泵替代油擴(kuò)散泵，能夠根絕真空泵返油，同時(shí)減少改換泵油和油濾帶來的維護(hù)本錢。
零件在裝爐前必需清洗，必要時(shí)停止噴砂處置。常規(guī)的清洗辦法有堿清洗、手工溶劑清洗等。關(guān)于復(fù)雜零件可采用超聲波清洗、蒸汽清洗或真空清洗。工件和工裝入爐前，除了檢查一切部位能否清洗潔凈且無涂鍍層外，還應(yīng)檢查隨零件和工裝入爐的標(biāo)識(shí)無低熔點(diǎn)金屬或其他非金屬，運(yùn)用不銹鋼。