超聲波清洗在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
超聲波在液體中傳播，使液體與清洗槽在超聲波頻率下一起振動(dòng)，液體與清洗槽振動(dòng)時(shí)有自己固有頻率，這種振動(dòng)頻率是聲波頻率，所以人們就聽到嗡嗡聲。隨著清洗行業(yè)的不斷發(fā)展，越來越多的行業(yè)和企業(yè)運(yùn)用到了超聲波清洗機(jī)。
半導(dǎo)體材料的制作過程中，每一個(gè)過程包括清潔，清洗直接影響到下一道工序，甚至?xí)绊懺O(shè)備的成品率和可靠性。
晶片生產(chǎn)的每一個(gè)過程的潛在的污染可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生缺陷和設(shè)備故障。因此，超聲波清洗機(jī)設(shè)備的小編表示，硅片的清洗已經(jīng)引起專業(yè)人士的關(guān)注。許多制造商都用手洗，這種方法人為的因素，一方面，容易碎裂，經(jīng)濟(jì)衰退，另一方面手洗的晶圓表面清潔度，污染嚴(yán)重，下道工序投擲腐蝕合格率較低。硅片清洗技術(shù)已引起人們的重視，找到一個(gè)簡(jiǎn)單而有效的清洗方法是當(dāng)務(wù)之急。專業(yè)介紹了一種超聲波清洗技術(shù)，超聲波清洗機(jī)設(shè)備的小編表示，晶圓清洗效果顯著，是一種值得推廣的晶圓清洗技術(shù)。
如顆粒，有機(jī)雜質(zhì)，無機(jī)雜質(zhì)，金屬離子，硅粉和灰塵，從而導(dǎo)致研磨后的硅晶片容易產(chǎn)生改變花的頭發(fā)，藍(lán)色，黑色等，所以研磨失敗。硅片清洗的目的是去除各種污染物。
醫(yī)用超聲波清洗機(jī)清洗代替手工人工清洗，還可以達(dá)到人工手不能滿足要求。甚至蒸汽清洗高壓水射流也無法滿足小盲孔表面凹凸不平的部分，超聲波清洗機(jī)設(shè)備效果更*。
傳統(tǒng)的手工清洗需要將回收器械多酶浸泡、手工刷洗、沖洗或者用毛刷機(jī)對(duì)一些瓶類進(jìn)行清洗,可以說費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且人為因素的影響還無法保證器械清洗質(zhì)量。