臺階儀(profiler)，一種接觸式表面形貌測量儀器，因為精度高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好等優(yōu)點，在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度led、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域，被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量。而就是這樣一種常見且關(guān)鍵的測量設(shè)備，一直以來卻被美國bruke、美國kla、日本kosaka三家廠商壟斷，國內(nèi)處于一個無同類國產(chǎn)產(chǎn)品可用的狀態(tài)。
進口臺階儀受限帶來的是越來越多國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對于國產(chǎn)臺階儀的迫切需求。而就在今年，這一情況被打破了。2022年6月，安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發(fā)的全國產(chǎn)化臺階儀js100a，國產(chǎn)化臺階儀至此也實現(xiàn)了重要突破。
js100a臺階儀采用了金剛石探針，提供了兩個彩色攝像頭對樣片和針尖同時成像，可清晰準確找到測試位置，實現(xiàn)無畸變觀察樣品區(qū)。同時，在實時掃描過程中，js100a能自動切換輔助顯微鏡，進一步保障掃描的準確性。
而在核心技術(shù)方面，js100a實現(xiàn)了3個突破，即“大行程超平面掃描技術(shù)”“大行程壓電陶瓷驅(qū)動快速進針技術(shù)”“大帶寬大行程納米微動臺技術(shù)”，這三大突破也讓臺階儀具備了超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集。
此外，從儀器商品的角度來說，js100a臺階儀作為全國產(chǎn)化臺階儀，售價會遠低于進口產(chǎn)品，可以降低用戶的采購成本，并且相對的，能夠提供更加完善便攜的售后服務(wù)，給用戶帶去更多便利。