半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)顯微鏡
操作簡(jiǎn)便,附件齊全,廣泛應(yīng)用于教學(xué)科研金相分析、半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、地址礦物分析、精密工程測(cè)量等領(lǐng)域。
高精度粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)
采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),左右側(cè)均可調(diào)節(jié),微調(diào)精度高,手動(dòng)調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便,用戶能夠輕松得到清晰舒適的圖像。粗調(diào)行程為38mm,微調(diào)精度0.002。
大尺寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)
采用180×155mm的大尺寸平臺(tái),右手位設(shè)置,符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中,便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換,為用戶提供更加高效的工作環(huán)境
落射柯拉照明系統(tǒng)
采用180×155mm的大尺寸平臺(tái),右手位設(shè)置,符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中,便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換,為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。
技術(shù)規(guī)格:
光學(xué)系統(tǒng)
有限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)
觀察筒
45°傾斜,三目觀察筒,瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm,分光比:80:20
目鏡
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡pl10x/18mm,可帶測(cè)微尺
高眼點(diǎn)大視野目鏡wf15x/13mm,可帶測(cè)微尺
高眼點(diǎn)大視野目鏡wf20x/10mm,可帶測(cè)微尺
物鏡
長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡(5x、10x、20x、50x 、100x)
轉(zhuǎn)換器
內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器
內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)每轉(zhuǎn)行程38 mm;微調(diào)精度0.02mm
載物臺(tái)
三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),面積180mmx155mm,右手低手位控制,行程:75mm×40mm
落射照明系統(tǒng)
落射式柯拉照明系統(tǒng),帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄,自適應(yīng)寬電壓100v-240v,單顆5w 暖色led燈,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)
落射式柯拉照明系統(tǒng),帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄,自適應(yīng)寬電壓100v-240v,6v30w鹵素?zé)?,光?qiáng)連續(xù)可調(diào)
攝影攝像
0.5x/1x攝像接筒,c型接口,可調(diào)焦
其他
起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;濾色片組;高精度測(cè)微尺