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詳解下硅片單面減薄設(shè)備的應(yīng)用

發(fā)布時間:2024-04-13
所述圓形固定板外側(cè)設(shè)有支撐在支架上的同心轉(zhuǎn)軸,所述同心轉(zhuǎn)軸應(yīng)用傳動機構(gòu)與設(shè)于箱體外側(cè)的驅(qū)動電機相連,所述箱體內(nèi)另設(shè)有加溫、降溫用的耐腐蝕循環(huán)水管。硅片減薄漂片機,所述圓形固定板對應(yīng)四根提籃桿中的三根提籃桿位置設(shè)有圓形裝置孔,對應(yīng)余下的一根提籃桿位置設(shè)有u形裝置卡槽,以便于取放硅片。
硅片減薄漂片機,所述支架上設(shè)有對應(yīng)同心轉(zhuǎn)軸的u形槽,所述同心轉(zhuǎn)軸支撐于u形槽的槽底,同時便當(dāng)放置旋轉(zhuǎn)提籃。硅片減薄漂片機,所述傳動機構(gòu)由設(shè)于同心轉(zhuǎn)軸上的從動錐形齒輪、與從動錐形齒輪嚙合的主動錐形齒輪組成,所述主動錐形齒輪應(yīng)用聯(lián)軸器與驅(qū)動電機的輸出軸端部銜接,所述驅(qū)動電機倒置于箱體頂部。
硅片減薄漂片機,所述耐腐蝕循環(huán)水管沿箱體內(nèi)壁蛇形排布。經(jīng)過旋轉(zhuǎn)提籃帶動硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)的同時完成減薄,關(guān)于原始硅片有效的控制了單片平均性、反復(fù)性和穩(wěn)定性,進步了最終廢品率。
經(jīng)過設(shè)于箱體內(nèi)的加溫、降溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,完成酸溫丈量、酸溫控制,防止了酸溫過高形成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不平均,保證了腐蝕反響契合設(shè)計計算請求的腐蝕效率和平均性,由于提籃桿沿其長度方向平均設(shè)有多個徑向環(huán)形槽,則可完成大量硅片的同時裝夾,完成硅片減薄的批量消費。
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