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純水和超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)布時(shí)間:2024-10-20
純凈水,指的是不含雜質(zhì)的h2o。
從學(xué)術(shù)角度講,純凈水又稱(chēng)純水、高純水,是指化學(xué)純度的水,其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒(méi)有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn),通常水的純度是以其電阻率(或電導(dǎo)率)來(lái)表證;也有根據(jù)用戶(hù)的需求來(lái)規(guī)定。
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水,即水中大部分陰陽(yáng)離子是應(yīng)該被去掉的。懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷摹?br>目前水質(zhì)要求高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè),根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線(xiàn)徑的不同水質(zhì)要求也不一樣,其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下:電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);toc(總碳)小于1到10ppb,do(溶解氧)小于1到10ppb;particle(顆粒):0.05微米小于200個(gè)/升;離子含量大部分是小于20到50ppt;檢測(cè):無(wú)。但對(duì)于高純水來(lái)說(shuō)這是不確切的,應(yīng)檢測(cè)純水中某項(xiàng)雜質(zhì)的含量來(lái)表證。這是因?yàn)椋河绊懜呒兯娮杪实闹饕蛩厥莗h,而不是ppt即10-11m級(jí)雜質(zhì),電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數(shù),不能表證某一單項(xiàng)雜質(zhì)的含量,而對(duì)于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量,而是我們所要分析的某單項(xiàng)雜質(zhì)該元素的含量,即空白值,這顯然不能由電阻率給出的,總之,對(duì)于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì),將會(huì)造成錯(cuò)覺(jué)。因此,我們以無(wú)焰原子吸收光譜法檢查純水的單項(xiàng)雜質(zhì)含量來(lái)表證其水質(zhì),這樣可確切地反映水的純度。而高純水的標(biāo)準(zhǔn)為:gb1146.1-89至gb1146.11-89[168],目前我國(guó)高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別:ⅰ級(jí)、ⅱ級(jí)、ⅲ級(jí)、ⅳ級(jí)和ⅴ級(jí),該標(biāo)準(zhǔn)是參照astm電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。
高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有:
1、微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求;
2、制水工藝的水平;
3、檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。
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