等離子體發(fā)射光譜研究是了解放電條件下氣體狀態(tài)的有效手段和用于無(wú)干擾診斷等離子體狀態(tài)參數(shù)的方法。它為研究不同實(shí)驗(yàn)參數(shù)下的等離子體行為提供了一種很好的方法。通過(guò)采集射頻磁控濺射過(guò)程中等離子體發(fā)射光譜，可以計(jì)算出電子密度和電子溫度，并且能夠分析濺射功率、工作壓強(qiáng)等實(shí)驗(yàn)參數(shù)對(duì)等離子體狀態(tài)的影響。
avaspec multi-channel系列等離子體光譜儀基于avantes公司的avabench-75光學(xué)平臺(tái)，采用模塊化設(shè)計(jì)，可以配置成單通道、雙通道、四通道或多通道（可達(dá)10個(gè)通道）。每個(gè)通道可以設(shè)置不同的積分時(shí)間或信號(hào)平均次數(shù)，且各通道同步采集。等離子體光譜儀有兩種規(guī)格型號(hào)，avaspec-uls2048-x-usb2和avaspec-uls3648-x-usb2(x代表通道數(shù))。
avaspec-uls2048光譜儀在接受外觸發(fā)信號(hào)之后僅延遲1.3微秒就開始采樣。此外，該光譜儀也可以發(fā)出ttl信號(hào)來(lái)觸發(fā)脈沖激光器或脈沖光源，并可設(shè)置開始采樣的時(shí)間延遲（-20ns至89sec，步長(zhǎng)21ns）。適用于需要快速響應(yīng)或時(shí)序控制的應(yīng)用（時(shí)間抖動(dòng)±21ns）。avaspec-uls3648光譜儀ccd像素?cái)?shù)多，分辨率比avaspec-uls2048光譜儀提高了約30%，但靈敏度降低了50%。
的avaspec-usb3.0平臺(tái)為多通道的應(yīng)用提供了塊化。每個(gè)通道可以設(shè)置不同的積分時(shí)間或信號(hào)平均次數(shù)，而且可以各個(gè)通道同步地開始掃描。并可以通過(guò)*的store to ram功能實(shí)現(xiàn)多通道高速同步測(cè)量，采樣頻率可達(dá)900幅/秒。此外，每個(gè)通道都可以選用不同類型的探測(cè)器，覆蓋很寬的波長(zhǎng)范圍，實(shí)現(xiàn)高分辨率的測(cè)量。