錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、mems、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
測試范圍：磁特性測試、微波特性測試、直流、rf特性測試，微電子機械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
技術(shù)指標(biāo)：
型號：t8-em4
真空度：高達(dá)10-8pa
腔體材質(zhì)：無磁不銹鋼或者鋁合金
磁場范圍：2000gs @50mm
磁場方向：水平（可按用戶要求設(shè)計成豎直方向的）
配套電源：雙極性電源±50a
電源穩(wěn)定性：50ppm（可選10ppm）
制冷方式：液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機
溫度范圍：5k-325k可選500k
控溫分辨率：0.001k控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于0.1k依賴于控溫儀
溫度傳感器：硅二極管/pt100/cernoxtm
傳感器數(shù)量：樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個
樣品臺尺寸：（max） φ50mm，平整度≤7μm
樣品臺固定方式：真空硅脂/彈簧壓片
樣品臺材質(zhì)：鍍金無氧銅
顯微鏡行程：x、y平面2*2inch，精度1μm，z軸行程≥50.8mm
放大倍數(shù)：16~100x/20~4000x
真空腔觀察窗尺寸：1inch
窗口材料：熔融石英（可選k9、氟化鈣等）
探針臂數(shù)量：2、4、6、8可選
探針臂行程：(x-y-z)25mm-25mm-12mm可更換
位移精度：10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
接口形式：普通真空接頭/三同軸接頭/bnc/sma等
探針直徑：0.51mm
針尖直徑：10μm/5μm/1μm可選
探針材料：鎢/ggb
供電電壓：ac220v 50hz/60hz
關(guān)鍵詞：芯片 制冷機 傳感器 溫度傳感器 電子顯微鏡