小型勻膠機(jī) 型號:ez4
ez4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,文本顯示器人機(jī)界面。
ez4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。ez4采用全陽極氧化鋁面板外殼,pp材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品性能參數(shù):
支持wafer尺寸:1cm-150mm(6圓晶)
速度可調(diào)范圍:100-10000rpm
加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm
轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm
可編程5組5步程序
寬電壓輸入:ac100-230v
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn):
75w直流無刷電機(jī),單片機(jī)控制
高清晰文本顯示器
可單步和多步勻膠操作
pp耐腐蝕內(nèi)腔,可更換
鋁合金陽極氧化外殼,美觀大方
耐溶劑pc透明蓋
多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)
hdpe真空吸盤
產(chǎn)品外型尺寸: 250mm(d)*210mm(w)*200mm(h)