激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。廣泛應用于光學、機械、電子等各種領域的測量。其中，平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應用之一。
傳統(tǒng)的測量方法通常采用機械測量或光學測量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點，能夠實現(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。
激光干涉儀平行度測量原理平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
平行度測量配置及應用平行度測量配置主要由sj6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、sj6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。
激光干涉儀垂直度測量原理垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。
垂直度測量配置及應用垂直度測量配置主要由sj6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學直角尺）、sj6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。
激光干涉儀測量優(yōu)點1. 高精度
sj6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，精度可以達到納米級別，可以準確地測量出平行度和垂直度的微小變化。
2. 非接觸性
sj6000激光干涉儀不需要接觸被測物體，不會對被測物體產(chǎn)生影響，也不會因為磨損而導致誤差。
3. 快速穩(wěn)定
sj6000激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率，測量速度非?？?；而且干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，干涉光路穩(wěn)定可靠，保證了長時間的穩(wěn)定測量。
4. 適用范圍廣
激光干涉儀可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
總之，激光干涉儀是一種強大的測量工具，可以廣泛應用于各種領域的平行度和垂直度測量工作。它的出現(xiàn)為各種精密制造和科學實驗提供了強有力的技術支持。