隨著半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)對(duì)于焦深要求愈來(lái)愈高，瑞邦精控著力開(kāi)發(fā)精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)。
精密z軸主要特點(diǎn)：
1、重載大行程，可承載50kg，行程50mm。
2、重復(fù)定位精度0.2μm。
3、高剛性，高動(dòng)態(tài)特性、系統(tǒng)帶寬大于100hz。
4、直驅(qū)力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)、滾珠絲杠和交叉滾柱導(dǎo)軌帶來(lái)高導(dǎo)向精度和剛性，精密交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向、可選雙編碼器（旋轉(zhuǎn)編碼器和直線光柵尺）做全閉環(huán)控制，可選配全密封防護(hù)。
5、相對(duì)側(cè)掛z軸，平升位移臺(tái)能夠直接使負(fù)載平面升降，結(jié)構(gòu)更緊湊。
為保證精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)穩(wěn)定性和高精度要求，北京瑞邦精控在以下幾方面做嚴(yán)格要求。
材料加工：綜合國(guó)內(nèi)外對(duì)不同材料的加工工藝，嚴(yán)格把控機(jī)加工質(zhì)量，對(duì)熱處理和表面處理都有量化指標(biāo)要求，為了保證運(yùn)動(dòng)臺(tái)在長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性。
裝配工藝：氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)和線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)都有完整的裝配工藝手冊(cè)，模塊化操作，分步驗(yàn)收，設(shè)計(jì)人員全稱參與裝配過(guò)程，嚴(yán)格把關(guān)。
電氣調(diào)試：三審電氣圖紙，嚴(yán)格把控焊線工藝，工程師從原理上理解控制器的功能和應(yīng)用，把機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)綜合分析，精度調(diào)試。
檢測(cè)驗(yàn)收 : 運(yùn)動(dòng)臺(tái)所有的指標(biāo)驗(yàn)收都是按照國(guó)家規(guī)定的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，數(shù)據(jù)報(bào)告的出具都是真實(shí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)。最終的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收，也是實(shí)際檢測(cè)為準(zhǔn)。
服務(wù)：依據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際需求，積極配合客戶對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)并優(yōu)化處理；依據(jù)技術(shù)協(xié)議現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行技術(shù)指標(biāo)驗(yàn)收；現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行設(shè)備培訓(xùn)及設(shè)備維護(hù)講解。