日本ulvac dis-501渦旋干式真空泵一、特性
•雙繞式渦旋泵，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
•可實現(xiàn)高極限真空。
•低振動低噪音。
•維護周期可通過計時表控制。
日本ulvac dis-501渦旋干式真空泵二、應(yīng)用
•分析設(shè)備
•氣體回收系統(tǒng)
•涂料設(shè)備
•tmp前級泵
•氦滲漏探測器
•半導(dǎo)體制造工藝
日本ulvac dis-501渦旋干式真空泵三、規(guī)格參數(shù)
單位
50hz
60hz
實際抽速
l/min
500
600
極限壓力
pa
1.0
馬達
單相
100/115/200/230v,600w,4p,電容啟動運行
三相
200/208/230/380/400/415/460v,600w,4p
滿載電流
單相
a
8.5/4.3/3.9
(100/200/230v)
2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415v)
三相
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230v)
2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460v)
重量
單相
kg
44.0
三相
38.0
進出氣管道直徑
進氣管kf-40 出氣管kf-25
環(huán)境溫度
°c
5–40
水蒸氣處理
g/天
≤25(a.f.開啟)
尺寸
單相
mm
290(w)×443(l)×397(h)
三相
290(w)×372(l)×397(h)
四、外形圖
五、泵數(shù)曲線
六、對應(yīng)電壓與認證
電壓
現(xiàn)行電壓
ce認證
csa認證
單相,100v,200v,230v
115v(60hz)
標準
●
●
三相,200,380v,400v,415v(50hz)
200v,208v,230v,460v(60hz)
標準
●
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