超精密數(shù)控機床系統(tǒng)主要有三個部分：主軸、橫向進給機構(gòu)、縱向進給機構(gòu)。
高速三軸數(shù)控機床主軸由空氣磁力軸承支承，小型三軸數(shù)控機床用帶有變頻器的電動機驅(qū)動，功率為1500w；橫向進給機構(gòu)與縱向進給機構(gòu)均采用花崗石滑臺與方導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，各由一臺伺服直接驅(qū)動滾珠絲杠帶動滑臺在導(dǎo)軌上移動，電動機功率為850w。
技術(shù)要求：
（1）橫、縱向進給的操作采用手柄式控制開關(guān)操作（十字選擇開關(guān)，中間有快速選擇按鈕）。
（2）進給的速度可調(diào)（最小為2mm/min），可實現(xiàn)自動/手動進給，移動精度為0.1um。
（3）橫、縱向的移動應(yīng)有鎖定開關(guān)。
（4）主軸旋轉(zhuǎn)可調(diào)速50-1800r/min（60hz達到1800r）采用無級變速，且有相對的轉(zhuǎn)速指示。
（5）主軸旋轉(zhuǎn)的起、停均需有緩沖過程（慢爬、慢停），主軸旋轉(zhuǎn)應(yīng)有保護電路，斷電時應(yīng)緩慢停止旋轉(zhuǎn)。
（6）氣壓保護，控制機床的正常運轉(zhuǎn)（0.4mpa），低于設(shè)定值時機床不能工作（或停止工作）。
（7）電源、氣源有正常工作燈指示。
（8）其余要求按常規(guī)機床實施。有電控箱、人機對話控制臺、手柄式控制進給操作手柄組成。