超精密氣浮臺是基于靜態(tài)氣動(dòng)軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉(zhuǎn)子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺座外殼對應(yīng)的負(fù)形連接。定子采用內(nèi)節(jié)流原理安裝，氣動(dòng)分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉(zhuǎn)子定子與轉(zhuǎn)子在定壓和負(fù)載下沒有接觸?？捎糜趫A度測量系統(tǒng)、中心偏差測量系統(tǒng)和粗糙度測量系統(tǒng)。
超精密氣浮臺基本特性
超精密氣浮臺載重能力強(qiáng)，重復(fù)精度高；無限的使用壽命；無塵室應(yīng)用環(huán)境；不滑行動(dòng)作；不磨損，不調(diào)整。
技術(shù)指標(biāo)：
轉(zhuǎn)動(dòng)精確度(徑向和軸向跳動(dòng))。玻璃纖維編碼器：相對定位精度。有兩個(gè)版本的空氣軸承轉(zhuǎn)盤：轉(zhuǎn)盤，有角編碼器，連轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)均勻，無角度位置控制。
可以根據(jù)應(yīng)用程序使用其他驅(qū)動(dòng)器：
帶子傳動(dòng)采用dc高精度齒輪裝置，高精度定位，轉(zhuǎn)速每分鐘可達(dá)3轉(zhuǎn)；dc驅(qū)動(dòng)，dc驅(qū)動(dòng)采用dc無刷力矩電機(jī)，轉(zhuǎn)速在0.2-200rpm之間；全部轉(zhuǎn)盤都是水平或垂直的。該設(shè)備配置精密地支撐板和帶有螺紋孔的螺紋孔來夾住螺母或t型槽(可供選擇)。
選擇：
平傾調(diào)節(jié)裝置；吸附器；電子旋轉(zhuǎn)控制裝置；
高分辨角編碼器；
巖石基礎(chǔ)，帶有減震元件，
氣體過濾器系統(tǒng)
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