產(chǎn)品簡介
兩面觀察測量顯微鏡產(chǎn)品介紹
兩面觀察測量顯微鏡
品牌:日本union
型號：dcm-40/60
dcm-40/60是一款設(shè)計*的顯微鏡，可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像，并對兩圖像進行比較，還可以通過測量裝置測量兩圖像（表面和底面）的偏差?？蛇x的物鏡有五種，放大倍率從50x~100x。測量精度可達1μm。
dcm-40/60主要應(yīng)用于微電子行業(yè)，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量，減少其它間接測量方式的誤差且不會損壞產(chǎn)品。例如：晶圓劃片基準印字偏移，柔性線路板線路間距，陶瓷電容片切割對位和ic框架邊緣質(zhì)量等應(yīng)用。
規(guī)格：
型號
dcm-40
dcm-60
物鏡
5x, 10x, 20x ,40x, 100x
5x, 10x, 20x ,40x, 100x
工作臺
50x50mm ~100x100mm
150x150mm
光源
150w鹵素?zé)?套
150w鹵素?zé)?套
工件厚度
20mm
30mm
選配件
照相系統(tǒng)、tv系統(tǒng)
測量步驟：
1.將光路選擇開關(guān)旋轉(zhuǎn)到top& bottom位置，調(diào)整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺上。旋轉(zhuǎn)光路選擇開關(guān)到top位置，對焦上表面. .
3.旋轉(zhuǎn)“光路選擇開關(guān)到bottom位置， 對焦下表面。.
4.將“光路選擇開關(guān)旋轉(zhuǎn)到top &bottom位置，測量兩圖像的位置偏差。
設(shè)備：