這種新型紫外led光源由oai久經(jīng)考驗(yàn)的光刻專家設(shè)計(jì)和制造。該光源提供了許多獨(dú)的特的好處，
其中最重要的是在異常長的壽命內(nèi)保持一致的強(qiáng)度。該光源非常節(jié)能，無需維護(hù)或更換光源，
并且不含汞。
oai紫外led光源提供的光束大小在4”和12”之間，光束均勻性優(yōu)于+/- 4%。它具有一個(gè)棱
鏡陣列和光導(dǎo)管，以實(shí)現(xiàn)卓的越的均勻性。準(zhǔn)直角度小于2度。這種光源具有可變的強(qiáng)度，波長
為365納米、405納米或兩者的組合。功能包括劑量控制和定時(shí)曝光。易于使用，oai光源使
用觸摸屏界面，并有一個(gè)usb遠(yuǎn)程接口。
uv光源提供多種選擇，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長或多波長版本。
該系統(tǒng)可以集成到任何oai光刻系統(tǒng)中。