主動隔振平臺可分為兩類：主動隔振和被動隔振。其中主動隔振是通過傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動對目標(biāo)的影響。主動隔振克服了被動各種平臺的共振頻率附近頻率無法消除的問題，拓展了隔振的頻率范圍（尤其是低頻范圍），降低了振動傳遞率。
隔振平臺由減振平臺和控制器兩部分組成。減振平臺采用精密金屬彈簧實現(xiàn)被動隔振，由精密直線電機實現(xiàn)主動減振，用于反饋控制檢測的速度傳感器采用超精密震動探頭，所有零部件封閉在機體內(nèi)，系統(tǒng)運行時不需提供額外壓縮空氣，能自適應(yīng)調(diào)節(jié)地基前饋，實現(xiàn)自由度減振。
低頻振動能量大，波長長，距離大，電鏡對低頻振動敏感，電鏡內(nèi)部有氣缸（被動），自行可以消除中高頻振動。高頻振動可以換位置解決，低頻振動難以通過被動去解決，用于將超精密儀器與低頻振動隔離，人體工程學(xué)設(shè)計使用戶可以舒適地執(zhí)行要求應(yīng)用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。
主動隔振平臺不需要氣源來操作系統(tǒng)，隔離器單元中的強力金屬彈簧不僅支撐重型有效載荷，還為高頻振動提供出色的被動隔振，單個作動器為系統(tǒng)單個作動器對平臺振動所能施加反作用力的值。音圈電機其結(jié)構(gòu)類似于喇叭的音圈而得名，具有高頻響、高精度的特點。加速度傳感器是感知外界振動信號加速度大小的器件，控制器主要負責(zé)信號放大、濾波、變換、采集數(shù)據(jù)，計算，功率放大的模塊。