oled，即有機(jī)發(fā)光二極管（organic light-emitting diode），是一種全新的顯示技術(shù)。與lcd相比，可視角度寬（大于170°）、響應(yīng)時(shí)間快（lcd的千分之一）、低溫特性好（在零下40度正常顯示）、低功耗等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)界廣泛看好成為下一代顯示技術(shù)，現(xiàn)在已廣泛應(yīng)用于車載顯示器、手機(jī)顯示屏等等。并且隨著oled技術(shù)發(fā)展，白光oled在照明領(lǐng)域也開始嶄露頭角，尤其在城市照明、廣告牌等行業(yè)被寄予非常高期望。
通常所說oled其實(shí)包含小分子oled和高分子oled（也稱pled）兩種。小分子oled和高分子oled的差異主要表現(xiàn)在器件的制備工藝不同：小分子器件主要采用真空熱蒸發(fā)成膜工藝，高分子器件則采用旋轉(zhuǎn)涂覆或噴涂印刷成膜工藝。
oled器件的制備工藝大致包括：ito玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機(jī)層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護(hù)層→封裝→切割→測(cè)試→模塊組裝→產(chǎn)品檢驗(yàn)等十幾道工序，其中關(guān)鍵的工藝如下：
（1）ito玻璃的洗凈及表面處理
ito作為陽(yáng)極其表面狀態(tài)直接影響空穴的注入和與有機(jī)薄膜層間的界面電子狀態(tài)及有機(jī)材料的成膜性。如果ito表面不清潔，其表面自由能變小，會(huì)導(dǎo)致蒸鍍?cè)谏厦娴牟牧习l(fā)生凝聚、成膜不均勻。所以ito玻璃表面必須經(jīng)過清洗、uv－o3或等離子等表面處理才能使用。并且對(duì)ito玻璃表面進(jìn)行處理一定要在干燥或真空環(huán)境中進(jìn)行，處理過的ito玻璃不能在空氣中放置太久，否則ito表面就會(huì)失去活性。
（2）真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
oled器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ito玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
（3）器件封裝工藝
真空蒸鍍的有機(jī)薄膜及金屬薄膜遇水和空氣后會(huì)立即氧化，使器件性能迅速下降，因此要避免與空氣和水接觸。所以oled的封裝一定要在無(wú)水無(wú)氧的惰性氣氛中完成。封裝材料包括粘合劑和覆蓋材料，粘合劑常使用紫外固化環(huán)氧膠，覆蓋材料則多采用玻璃封蓋，在封蓋內(nèi)加裝干燥劑來吸附殘留的水分。
為了使oled器件達(dá)到實(shí)用要求，即使用壽命大于10000ｈ，存儲(chǔ)壽命超過50000ｈ，器件封裝的水汽滲透率要小于5×10-6ｇ﹒ｍ-2／ｄ，氧氣滲透率要小于10-3cc·ｍ-2／ｄ（一般玻璃襯底對(duì)水氧的滲透率為10-12ｇ﹒ｍ-2／ｄ），因此對(duì)封裝環(huán)境中的水氧有著非常高的要求。傳統(tǒng)的oled器 件封裝是用環(huán)氧樹脂膠將一個(gè)玻璃蓋板粘接在做好有機(jī)功能層及電極層的ito基板上，從而在ito基板和玻璃蓋板之間形成了一個(gè)密閉罩子，把器件和空氣中的 水、氧隔開。為保證罩子里（即器件內(nèi)部）沒有水氧及整個(gè)過程都不與水氧接觸，所以整個(gè)封裝過程都在惰性氣氛手套箱內(nèi)完成。
在oled的生產(chǎn)流程中全部在無(wú)塵潔凈室中完成，其中鍍膜工藝需要真空環(huán)境，封裝工藝需要無(wú)水無(wú)氧環(huán)境，因此在oled后段封裝過程手套箱是的，也是最至關(guān)重要的，尤其是帶顆粒凈化功能的手套箱，而且與前段最重要的鍍膜機(jī)是相互緊密連接、配套使用的。
關(guān)鍵詞：顯示器 石英晶體振蕩器 手套箱 鍍膜機(jī)