臥式冷凝泵主要是利用低溫表面的冷凝氣體。冷凝泵獲得清潔真空的極限壓力極低,抽氣速率極大,更是廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體和集成電路的研究生產(chǎn)領(lǐng)域。除此之外,在真空真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器等裝置方面,冷凝泵也發(fā)揮著不可替代的作用。既要滿足生產(chǎn)工藝要求又不造成電能的浪費(fèi),因此保持凝結(jié)水泵的安全可靠運(yùn)行顯得至關(guān)重要。凝結(jié)泵的安裝方法:
1、冷凝泵為單基礎(chǔ)結(jié)構(gòu),即為簡(jiǎn)體與安裝板相聯(lián)位于基礎(chǔ)層下的地坑里,而吐出彎管懸吊轉(zhuǎn)子與安裝板相連,電機(jī)則垂直安裝在吐出彎道上,與冷凝泵剛性連接或彈性連接。
2、冷凝泵的吸水室為密閉的外簡(jiǎn)體內(nèi)腔,外間體上的吸入口位于基礎(chǔ)層的下的地溝里并與冷凝器排水管相連接;而冷凝泵的吐出口方向均為水平方向。
3、位于外間體內(nèi)的吸入喇叭口、吸入段(泵體)、中段、導(dǎo)葉、泵蓋、密封環(huán)、軸承、吐出段等通過穿杠、壓水接管連接成為泵本體而懸吊在吐出彎道上。
4、泵的轉(zhuǎn)子部件由首級(jí)葉輪、次級(jí)葉輪,軸套、鎖緊螺栓、間隔套、擋套、套筒聯(lián)接器主軸等組成。
5、根據(jù)流量要求吸入條件,首級(jí)葉輪為雙吸形式,而次級(jí)則為單吸導(dǎo)葉型或單吸斜流型。
6、為平衡筒體吸入內(nèi)腔與冷凝器內(nèi)的壓力,排出吸入室內(nèi)的氣體,改善和穩(wěn)定吸入室內(nèi)外氣體,改善和穩(wěn)定吸入性能,在冷凝泵和吸水室之間設(shè)有平衡管理系統(tǒng)。
關(guān)鍵詞:冷凝器