had-5227電阻真空計(jì)原理以及校準(zhǔn)
原理
pirani皮拉尼真空計(jì)構(gòu)造。金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。通過(guò)電極給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過(guò)固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為qg,qr,qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立
q = i2r = qg + qr + qs (1)
q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,r是細(xì)線的電阻,i是細(xì)線的電流。
氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),qg通過(guò)自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
qg = αλπda(t－t0)p (2)
t和t0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,p為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。 剩下的qs和qr可以分別表示如下
qs = sκ(t－t0)/l (3)
qr = πdaσε(t4－t04) (4)
(3)是電極的熱傳導(dǎo),其中s是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,l是電極的長(zhǎng)度。
(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持t和t0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用i02r表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為
i2r = ap + i02r (5)
a = αλπda(t－t0) (6)
i0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。a式是不依存壓力的定數(shù)如果已知細(xì)線的電阻r,電流i0及定數(shù)a,則可以通過(guò)(5)式求得壓力p。
電阻真空計(jì)的
校準(zhǔn)
一般先校準(zhǔn)零點(diǎn)，再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。
(1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。校準(zhǔn)零點(diǎn)需對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空，一旦電離規(guī)測(cè)得真空度高于1.0^-1pa(如9.9 x10^-2pa)，按“校零”按鈕，對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動(dòng)校正零點(diǎn)，當(dāng)顯示1.0^-1pa時(shí)，表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。
(2)滿度校正。校準(zhǔn)完零點(diǎn)后，需對(duì)其滿度校正。按滿度校正過(guò)程要求，對(duì)被測(cè)爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕，對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動(dòng)校正滿度，當(dāng)顯示1.0^5 pa時(shí)，表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。對(duì)于無(wú)自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過(guò)操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整