微量氧分析儀主要半導體元件用熱敏元件和所述金屬電阻絲的類型。敏感半導體元件小，熱慣性小，大的電阻溫度系數(shù)，高的靈敏度，一個小的時間滯后。在鉑線圈作為傳感元件，則內(nèi)電阻，圍繞作為補償元件的非反應性氣體的交界處材料的金屬氧化物燒結(jié)珠等于鉑相同體積的發(fā)熱線圈。構(gòu)成該臂作為一個橋式電路，即，一個測量電路這兩個部件。金屬氧化物半導體氣體傳感元件吸附法測定的，并發(fā)生變化的電導率的速率即，散熱元件的狀態(tài)也改變。在鉑線圈的可變電阻的溫度變化，則存在在電橋輸出電壓，從而能夠檢測氣體濃度的不平衡。微量氧分析儀的應用非常廣泛，除了通常用于分析氫，氨，二氧化碳，二氧化硫含量和低濃度的可燃氣體，也可作為色譜檢測分析器，用于分析的其他組件。
當我們用微量氧分析儀測量氧含量時數(shù)值飄移不定，出現(xiàn)分析結(jié)果數(shù)據(jù)不準確。其主要原因是氧氣分析儀使用不當造成，以下僅談幾點影響測定的因素：
1.氧氣測定儀上的過濾器要潔凈。每使用過一段時間就要清洗過濾器或者更換過濾器來確保測得數(shù)值不飄移，只有這樣才能保證氧氣測定儀不被影響，所得數(shù)據(jù)正確。
2.氧氣測定儀的環(huán)境破壞。在使用氧氣測定儀時，環(huán)境的好壞也會對傳感器進行一定的干擾，適當?shù)那謇砘覊m和清除污漬，這樣對傳感器的壽命也會增長使用。
3.管道材質(zhì)的選擇。管道材質(zhì)及表面的濕度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。通常選用不銹鋼管和四氟管。
4.氧氣測定儀的泄漏。氧氣測定儀在初次啟用前必須嚴格檢漏。氧分析儀只有在嚴密不漏的條件下才能獲得正確的數(shù)據(jù)結(jié)果。任何連接點，焊點，閥門等處的不嚴密，將會導致空氣中的氧反滲進進管道及氧分析儀內(nèi)部，從而得出含氧量偏高的結(jié)果。