氦質(zhì)譜檢漏儀顧名思義是一款進行檢漏檢測的設(shè)備。詳細來講，氦質(zhì)譜檢漏儀是氣體工業(yè)名詞術(shù)語，是指通過利用氦氣或者氫氣作示漏氣體，通過以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。在工業(yè)生產(chǎn)也實驗研究過程中有著較廣泛的應(yīng)用。以下，根據(jù)網(wǎng)上資料，對氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理進行如下簡述：
因為氦氣的本底噪聲低，其分子量及粘滯系數(shù)較小，所以當設(shè)備存在漏孔時，氦氣較容易通過漏孔并擴散出去。此外，由于氦系惰性氣體，不會對設(shè)備產(chǎn)生額外腐蝕損壞，所以一般進行相關(guān)檢測分析時，常用氦作示漏氣體。通過將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調(diào)節(jié)氣體分析儀到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
據(jù)了解，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù)，由于其檢漏效率高，并且操作簡便直接，對于檢測結(jié)果的反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)量分析器是根據(jù)質(zhì)量分析的原理，使用氦氣作為氣體泄漏的機理的氣密性測定器由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子化規(guī)格構(gòu)成的質(zhì)量分析室、抽氣系統(tǒng)和電氣部分等構(gòu)成從質(zhì)譜室的燈絲放出的電子，在室內(nèi)前后振動，通過室內(nèi)的氣體和泄漏孔與進入人室內(nèi)的氦氣沖撞，電離成正離子，這些氦離子在加速電場下進入人的磁場，用洛倫茲力偏轉(zhuǎn)，形成圓弧狀的軌道，加速氦噴霧法、氦吸引法是氦質(zhì)量分析裝置常用于電阻爐檢測泄漏的兩種方法。
由于資料有限，因而上述內(nèi)容并不全面，歡迎補充。