日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀ms-500，lc-450a，lc-450d，lc-860
氧氣表ms-500
多可以同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)可以顯示從ppm級到100％的多種濃度。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的nw法蘭）特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器，以進(jìn)一步提高耐用性。ms-500設(shè)備規(guī)格測量原理
氧化鋯輕型電池
形狀
分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）
顯示方式
4位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100體積％氧氣2 10-20?10-0大氣壓
自動(dòng)范圍
重復(fù)性
在±0.5％fs 0-1％范圍內(nèi)或更高
±1％fs以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％內(nèi)，atm范圍超出保證的濃度
測量點(diǎn)數(shù)
1-8
樣氣條件
壓力
10-3至200 kpa（壓力）
流量
0.5-5,000 ml / min或0 ml / min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量）
濕度
露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度
0-100℃
其他
不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣
大氣層
記錄儀輸出
僅變速箱輸出
變速箱輸出
rs-232c
報(bào)警輸出
沒有
熱身時(shí)間
6分鐘以內(nèi)
尺寸
ms-500（控制器）
92（w）x 44（h）x 120（d）（不包括突起）
ms-510（轉(zhuǎn)換器）
100（w）x 40（h）x 88（d）（不包括突起）
傳感器單元
sd16nw
總長100 mm（感應(yīng)部分φ11×39，主體部分φ40×51）
sd25nw
總長100mm（感應(yīng)部分φ11×42，主體部分φ40×48）
sd40nw
總長100 mm（感應(yīng)部分φ11×41，主體部分φ40×49）
大眾
ms-500（控制器）
約0.6kg
ms-510（轉(zhuǎn)換器）
約0.5kg
傳感器單元
sd16nw
約0.2kg
sd25nw
約0.2kg
sd40nw
約0.35kg
外部連接
真空法蘭之一（nw16、25、40）
使用電源
24vdc±10％
氧氣計(jì)lc-450a，lc-450d
可以顯示很寬的濃度范圍，從測量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100％。改進(jìn)的傳感器耐用性
氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理，以提高其耐用性。交流寬電源ac100-240vac（lc-450a）
* lc-450d由24v dc驅(qū)動(dòng)緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短，并且不會(huì)占用太多空間。符合rohs的產(chǎn)品ce標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
en61010-1：2002，en61326：+ a3：2003lc-450a設(shè)備規(guī)格測量原理
氧化鋯輕型電池
形狀
桌面型/面板安裝型
顯示方式
4位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100體積％氧氣2 10-20?10-0atm自動(dòng)范圍
重復(fù)性
在±1％fs 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式
內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件
壓力
加壓30 kpa以下
流量
1,000-2,000毫升/分鐘
濕度
露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度
0-50℃
其他
不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣
大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出
在4-20ma和0-20ma之間切換（可選0-10v）絕緣，負(fù)載電阻550ω或更小
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動(dòng)/固定范圍
變速箱輸出
rs-232c
報(bào)警輸出
失?。ㄔO(shè)備錯(cuò)誤）
1分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作）
alm（濃度警報(bào)）
2點(diǎn)（h / l）
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作）
rdy（預(yù)熱信號）
1分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac以下，0.5a以下
·無電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12v或更高，并且無法承受微小的負(fù)載。
mrk（范圍標(biāo)記）輸出
2分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac以下，0.5a以下
熱身時(shí)間
5分鐘以內(nèi)
尺寸
身體
210（w）x 134（h）x 300（d）mm（不包括突起）
大眾
約6kg
氣體
連接口
進(jìn)口
rc1 / 4
旁路輸出
rc1 / 4
出口
rc1 / 4
使用電源
100-240vac，50va（穩(wěn)定：35va）50hz / 60hz
lc-450d設(shè)備規(guī)格測量原理
氧化鋯輕型電池
形狀
桌面型/面板安裝型
顯示方式
4位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100體積％氧氣2 10-20?10-0atm自動(dòng)范圍
重復(fù)性
在±1％fs 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
取樣方式
內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件
壓力
加壓30 kpa以下
流量
?1,500l /分鐘
濕度
露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度
0-50℃
其他
不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣
大氣層
記錄儀
輸出
氧氣濃度輸出
0-10vdc，絕緣，負(fù)載電阻600kω或更高
（選件：4-20madc，絕緣，負(fù)載電阻550ω或更低）
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍
0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動(dòng)/固定范圍
變速箱輸出
rs-232c
報(bào)警輸出
失?。ㄔO(shè)備錯(cuò)誤）
1分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作）
alm（濃度警報(bào)）
2點(diǎn)（l / ll）
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作）
rdy（預(yù)熱信號）
1分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac或以下，0.5a或以下
在預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作）
·非電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12v或20ma或更高，并且無法承受微小的負(fù)載。
mrk（范圍標(biāo)記）輸出
2分
非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30vdc / ac以下，0.5a以下
熱身時(shí)間
5分鐘以內(nèi)
尺寸
身體
240（w）x 134（h）x 210（d）mm（不包括突起）
大眾
約5kg
氣體
連接口
進(jìn)口
rc1 / 8
旁路輸出
rc1 / 8
出口
rc1 / 8
使用電源
24vdc±10％，1.25a（30va，穩(wěn)態(tài)）
氧氣計(jì)lc-860
低濃度測量
可以測量ppb到100％操作簡便
按功能可輕松操作吹掃功能
比較氣體更穩(wěn)定，測量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）高可靠性傳感器傳感器
內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理（可選）lc-860設(shè)備規(guī)格測量原理氧化鋯輕型電池
形狀桌面型/面板安裝型
顯示方式6位數(shù)字顯示（密度顯示）
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100體積％氧氣2 10-20?10-0大氣壓
自動(dòng)/固定范圍
重復(fù)性
氧氣濃度在±1％fs之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm，大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
樣氣條件壓力加壓30 kpa以下
流量?1,500ml /分鐘
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0-50℃
其他不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣大氣層
記錄儀
輸出氧氣濃度輸出4-20ma / 0-10v 4-20ma
：絕緣，負(fù)載電阻為600ω或更低
0-10v：絕緣，負(fù)載電阻為500ω或更高
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度
輸出范圍0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm，10-20-10-0 或自動(dòng)/固定范圍的任意4個(gè)范圍
變速箱輸出rs-232c
報(bào)警輸出失?。ㄔO(shè)備錯(cuò)誤）1分非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
由于設(shè)備異常，觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作）
alm（濃度警報(bào)）2分非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24vdc / ac或更小，0.1a或更小
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作）
rdy（預(yù)熱信號）1分非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24vdc / ac或更小，0.5a或更小
預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作）無電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12v或更高，并且不能承受微小的負(fù)載。
mrk（范圍標(biāo)記）輸出3分非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24vdc / ac以下，0.1a以下
熱身時(shí)間20分鐘以內(nèi)
尺寸身體288（w）x 144（h）x 400（d）mm（不包括突起）
大眾約10kg
氣體
連接口進(jìn)口rc1 / 8
旁路輸出rc1 / 8
出口rc1 / 4
使用電源100-120vac±10％200va 50hz / 60hz的