氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術(shù)分析
在spectronics，我們也專注于直孔加工，以響應(yīng)許多客戶對加工規(guī)格的要求。
作為皮秒激光微細(xì)加工的靶材，我們成功地在被認(rèn)為比較厚的 450 μm 氮化鋁上鉆了一個幾乎直的孔。
雖然它仍處于開發(fā)階段的光學(xué)工具，但已被證明對無錐度加工有效。未來，我們希望進(jìn)行驗證，以便將其用作生產(chǎn)工具。
加工驗證詳情◇靶材?。旱X（aln） 厚度：450μm 顏色：淺棕色◇二手激光振蕩器 ldh-g0610（532nm/15ps/6w@200khz）◇加工光學(xué)系統(tǒng) 原裝光束旋轉(zhuǎn)器和電掃描光學(xué)系統(tǒng)（f = 46mm) 理論光斑尺寸 φ12.45μm◇ 調(diào)整照射方式 相位角，將鉆孔后基材側(cè)的截面設(shè)置為直線狀◇ 結(jié)果 照射側(cè)孔徑 181.97μm 出射 側(cè)孔徑 181.25μm 加工時間 56sec /孔洞◇ 加工后樣圖
關(guān)鍵詞：振蕩器