一些化合物具有很高的沸點(diǎn)。要使這類化合物沸騰，是降低化合物沸騰時(shí)的壓力而不是提高溫度。一但壓力降低到化合物的蒸汽壓（在一定的溫度下），化合物就開始沸騰，蒸餾作用就可進(jìn)行。這項(xiàng)技術(shù)被稱為真空蒸餾，且以真空汽化器的形式常見于實(shí)驗(yàn)室。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于大氣壓下沸點(diǎn)超過(guò)其分解溫度的化合物是很有用的，在大氣壓下讓這類化合物沸騰的嘗試，都會(huì)使其分解。
安裝使用真空蒸餾裝置時(shí)需要注意一下幾點(diǎn)：
1、安裝真空蒸餾的儀器時(shí)，必須選擇大小合適的橡皮塞，選用磨口真空蒸餾裝置。
2、蒸餾液內(nèi)含有大量的低沸點(diǎn)物質(zhì)，需先在常壓下蒸餾，使大部分防物蒸出，然后用水泵減壓蒸餾，使低沸點(diǎn)物除盡。
3、停止加熱，回收低沸物，檢查儀器各部分連接情況，使之密合。
4.開動(dòng)油泵，再慢慢關(guān)閉安全閥，并觀察壓力計(jì)上壓力是否到達(dá)要求，如達(dá)不到要求，可用安全閥進(jìn)行調(diào)節(jié)。
5、待壓力達(dá)到恒定合乎要求時(shí)，再開始加熱蒸餾瓶，精餾單體時(shí)，應(yīng)在蒸餾瓶?jī)?nèi)加入少許沸石（一般使用油浴，其溫度高于蒸餾液沸點(diǎn)的20～30℃，難揮發(fā)的高沸點(diǎn)物在后階段可高30～50℃）。6.蒸餾結(jié)束，先移去熱源，待稍冷些，再同時(shí)逐漸打開安全活塞，等壓力計(jì)內(nèi)水銀柱平衡下降時(shí)，停止抽氣，等系統(tǒng)內(nèi)外壓力平衡后，拆下儀器，冼凈。