使用時注意事項：
1. 儀器的功率參數(shù)設定不要超過60（即儀器額定功率的60%）
2. 樣品處理時間不要過長（不要超過10分鐘）如果感覺處理的效果不是很理想可以停機后，過5分鐘（待儀器的熱量散掉后）在進行一次處理。
3. 在日常的使用過程中一定要做到打開電源后，*行回氣操作使倉體恢復常壓（按下air/vent按鈕，并在3—5秒后復原air/vent按鈕）后再開始實驗。目的是防止真空泵油逆流。
4. 實驗中處理的樣品不要與儀器的艙內(nèi)高壓板接觸
5. 對于本機而言一般材料的處理，所供氣體量在200-400ml/min之間等離子密度較為適宜
6. 平常要保持儀器的清潔，特別要注意艙門密封處。
7. 儀器不要放于特殊環(huán)境中使用，例如：高溫 高濕等惡劣環(huán)境。
外加氣體使用注意：
1.外加氣體（氧氣）由機箱的后邊 gas1引入，現(xiàn)接口直徑為10毫米，也可配成直徑6毫米的接頭。
2.將氧氣的出口壓力調(diào)到0.2mpa，可長期接入，也可用完后關閉氧氣瓶。
3.外加氧氣時一定要注意：在正常使用前一定要在手動狀態(tài)下，先不按下gas按鈕時給射頻，觀看艙體的.發(fā)光顏色，發(fā)白時為宜，此時再按下gas按鈕，并調(diào)整流量計旋鈕，使流量在300--400毫升之間，此時的氧離子的發(fā)光顏色為灰色且有些霧蒙蒙的感覺，即為正常。
4.在艙體加射頻時出現(xiàn)打火的情況下（即真空度不夠的情況下），千萬不要加入氧氣，有可能引燃氧氣而將射頻線燒毀