真空質(zhì)量提取法檢漏儀安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)檢漏工作的主體。若設(shè)備焊縫的氣密性已經(jīng)通過加工階段的檢漏得以保證，那么在設(shè)備安裝、調(diào)試過程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的重點(diǎn)。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等重點(diǎn)可疑部位。若同時(shí)對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。真空質(zhì)量提取法檢漏儀安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟如下：
1、了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和裝配過程。掌握設(shè)備的要求，查明需要進(jìn)行檢漏的重點(diǎn)可疑部位。
2、根據(jù)所規(guī)定的允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經(jīng)濟(jì)、快速、可靠等原則出發(fā)，正確選擇好檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備好檢漏時(shí)所需的輔助設(shè)備后擬定切實(shí)可行的檢漏程序。
3、應(yīng)對被檢件進(jìn)行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛(wèi)生條件進(jìn)行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件。清潔處理后可通過真空烘干箱進(jìn)行烘烤，進(jìn)行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機(jī)溶液等堵塞，而且也保護(hù)了檢漏儀器。
4、對所選用的檢漏方法和檢漏設(shè)備進(jìn)行檢漏靈敏度的校準(zhǔn)，并確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時(shí)間。
5、若采用真空檢漏法時(shí)，為了提高儀器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到較高真空。
6、在允許的前提下，應(yīng)盡可能優(yōu)先應(yīng)用較為經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)場具備條件的檢漏方法。
7、采用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏時(shí)，對于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件時(shí)，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的氦氣進(jìn)行檢漏，然后再進(jìn)行小漏孔的檢漏，以節(jié)約氦氣。
8、對已檢出的大漏孔及時(shí)進(jìn)行修補(bǔ)堵塞后再進(jìn)行小漏孔的檢漏。
9、對檢出并修補(bǔ)的漏孔進(jìn)行一次復(fù)查以確保檢漏結(jié)果達(dá)到要求。
關(guān)鍵詞：輔助設(shè)備