日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
cfb-k系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國(guó)家新型加工而成，提高了葉齒強(qiáng)度，分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)可以抵抗瞬時(shí)5000pa的大氣沖擊和粉塵，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)
具有高壓強(qiáng)、抽速大的特點(diǎn)，對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng)，由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1200k抗沖擊分子泵三、主要性能指標(biāo)
型號(hào)
cfb-1200k
訂貨號(hào)
3181
3182
進(jìn)氣口法蘭
—
lf200
cf200
排氣口法蘭
—
kf40
抽氣速率
l/s
1200
壓縮比n2/h2
—
1×109/1×104
極限壓強(qiáng)
pa
5×10-7
8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動(dòng)時(shí)間
min
＜5
軸承
—
陶瓷軸承
前極泵
l/s
8-15
振動(dòng)值
μm
≤0.1
冷卻水溫度
℃
≤25
泵體烘烤溫度
℃
<120
冷卻水流量
l/min
1
泵口耐壓
pa
7000
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
～31
四、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線
cfb系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線
cfb系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格
cfb-1200k
進(jìn)氣口法蘭
lf200
cf200
d1
ф240
ф253
d2
ф267
ф267
d3
□167.6
□167.6
l1
142
142
l2
152
152
h1
393
393
h2
108
108
h3
135.5
135.5
h4
104
104
關(guān)鍵詞：加熱器