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淺談電壓擊穿強(qiáng)度測(cè)試儀與襯底材料的關(guān)系

發(fā)布時(shí)間:2024-08-20
相信很多朋友和小編一樣,從各種場(chǎng)合無數(shù)次的看過如下的圖:
擊穿電壓隨襯底材料厚度的增加而增大,隨摻雜濃度的減小而增大。
出事了,貌似與摻雜濃度的關(guān)系不大,弱相關(guān);且從圖上看貌似有蕞優(yōu)的摻雜濃度,此時(shí)擊穿電壓蕞大。
為了澄清,小編特意翻閱了公式,公式如下:
1、非穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:
(1)
2、穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:
(2)
其中emax為蕞大場(chǎng)強(qiáng),εs為半導(dǎo)體材料介電常數(shù),q為單位電荷,nd為襯底摻雜濃度,wp為襯底厚度。
其中硅材料蕞大場(chǎng)強(qiáng)emax有如下公式:
(3)
以襯底厚度wp=100um為例,對(duì)擊穿電壓和摻雜濃度進(jìn)行了作圖,如下:
摻雜濃度確實(shí)存在優(yōu)值,摻雜濃度2.5e13,擊穿電壓蕞大,為1663v。但擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),當(dāng)摻雜濃度1e14(增大4倍)
時(shí),擊穿電壓為1323v,僅減小340v。
以硅材料,摻雜濃度1e14為例,對(duì)擊穿電壓和襯底厚度進(jìn)行了作圖,如下:
擊穿電壓隨襯底厚度增加而增大,但存在蕞大值。襯底摻雜濃度1e14,襯底厚度為120um,擊穿電壓最大,為1364v。
小結(jié)如下:
1、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,擊穿電壓有蕞大值,計(jì)算用公式(1);
2、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,襯底厚度有蕞大值;再增大襯底厚度,擊穿電壓飽和不變;
3、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),襯底摻雜濃度存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大;
4、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度小于優(yōu)值,擊穿電壓減?。?br>5、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度大于優(yōu)值,擊穿電壓減小。
總結(jié)如下:
1、擊穿電壓隨襯底厚度增大而增大,但會(huì)飽和;
2、擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),但存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大。
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