雙電測數(shù)字式四探針測試儀／電阻率測試儀／方阻儀 型號：dp-2263
概述
dp-2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 a.s.t.m 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，行兩次電測量，對數(shù)據(jù)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提度，別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及pc軟件等部分組成。
主機主要由恒流源、分辨率adc、嵌入式單片機系統(tǒng)組成，usb通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入；具有零位、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式；儀器操作可由配套軟件在pc機上操作成，也可脫pc機由四探針儀器面板上立操作成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示，也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打?。?br> 探頭選配：根據(jù)不同材料性需要，探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ito膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻行測量。
測試臺選配：般四探針法測試電阻率/方阻配dp-a或dp-b或dp-c或dp-f型測試臺。
儀器具有測量精度、靈敏度、穩(wěn)定性好、 化程度、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等點。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本參數(shù)
3.1 測量范圍
電阻率：1×10-4～2×105 ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 ω-cm 方 阻：5×10-4～2×105 ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 ω/□
電 阻：1×10-5～2×105 ω ，分辨率：1×10-6～1×102 ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直 徑：dp-a圓測試臺直接測試方式 φ15～130mm，手持方式不限
dp-b/c/f方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長()度：測試臺直接測試方式 h≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數(shù)字電壓表：
(1)量程： 20.00mv～2000mv
(2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4 數(shù)控恒流源
(1)量程：0.1μa，1μa，10μa，100µa，1ma，10ma，100ma，1a
(2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5 四探針探頭（選配其或加配全部）
(1)碳化鎢探針：φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針：φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: ac 220v±10% ,50hz 功 耗：<20w
3.7 外形尺寸：
主機 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（）