高壓汞規(guī)格全自動uv照射機
fhuv-系列
“緊湊型”和“高輸出”高壓汞燈規(guī)格
概述高壓汞/金鹵燈全自動uv照射設(shè)備是一種使用具有強輻射能的燈管的紫外線固化設(shè)備。
裝入工件后，按下啟動按鈕，機器將全自動將工件從料庫中取出，并用紫外燈照射，并存儲，直到料庫中的工件全部完成。根據(jù)目標工作，您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。
特征緊湊的機身
可以進行 10 種配方設(shè)置（速度根據(jù)設(shè)置而變化）
可使用觸摸面板以 4 種方式設(shè)置功率
顯示累積照射量和紫外線照射強度（僅照射期間）
可根據(jù)照射對象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈
配備自動設(shè)置變更功能，可自動切換至不同尺寸
不僅可以照射切割框，還可以照射握持環(huán)。
具備判斷uv照射是否完成的功能。
目的可用于lsi晶圓、存儲器晶圓、led晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。
規(guī)格
尺寸寬1300×深1400×高1350（毫米）
重量約400公斤
駕駛空氣0.4mpa以上
紫外線照度200mw/cm2以上
氮氣0.2mpa以上 100l/min以上
電源交流三相200v 50/60hz 100a
*尺寸適用于 8 英寸類型。